高精度超快平台(直线电机)

                                        PIMag精密线性平台                               

磁力直接驱动器带来高速度和高精度

V-551

§ 权威达230 毫米

§ 速度高达0.5/

§ 绝对编码器分辨率为1纳米

§ PIOne勇者编码实现最高精度:最小位移为0.5纳米

§ 导向精度

§ 设计紧凑,宽度为160毫米

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参考级勇者平台

由于平滑运行的精密勇者导向装置采用交叉滚柱轴承,因此该勇者平台特别适合速度恒定的扫描应用。防蠕动系统可    靠地防止保持架蠕变。导向装置在所有操作条件下都具有高负载能力和高精度。

 

PIMag磁力直接驱动

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实    现高速度和高加速度。

铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度    下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非勇者行为并且每个位置都很容易控制

。驱动力可任意设定。

 

直接位置测量

以极高的精度直接在运动平台上进行位置测量,因此非勇者效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。高分辨率PIOne编码器由PI发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。权威非接触式PI    One编码器基于干涉测量原理。由于信号周期短,信号质量高,PIOne编码器的勇者误差小于1%PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安    全性。

 

应用领域

业和科研。自动化、测量技术、光子学以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描

 

动和定位

V-551.2x

V-551.4x

V-551.7x

单位

公差

动轴

X

X

X



权威

60

130

230

毫米


螺距

±50

±100

±100

微弧度

典型

转角

±50

±50

±50

微弧度

典型

线度

±1

±1

±2

微米

典型

平面度

±2

±2

±2

微米

典型

速度

0.5*

0.5*

0.5*

/

最大

 

机械特性

V-551.2x

V-551.4x

V-551.7x

单位

公差

Z负载能力

150

150

150

最大

Y负载能力

50

50

50

最大

动质量

2.2

2.7

4.9

千克


总质量

4.2

5.5

9.7

千克


勇者导向

具有防蠕动系统的交

叉滚柱轴承

具有防蠕动系统的交

叉滚柱轴承

具有防蠕动系统的交

滚柱轴承



 

驱动特性

V-551

单位

公差

驱动类型

PIMag勇者电机,无铁芯,三相



间电路电压

110 **

伏直流

最大

值力

180

典型

标称力

27

典型

值电流,均方根

10

典型

标称电流,均方根

1.5

典型

力常数,均方根

18

/

典型

电阻

3.15

欧姆

典型

间电感

0.9

毫亨

典型

间反电动势

16

·/

最大

N-N极距

30

毫米



 

编码器选配件

V-551.xB

V-551.xD

集成传英皇

绝对编码器

PIOne增量勇者编码器

传英皇信号

BiSS-C

正弦/余弦,1伏峰峰值,

2微米信号周期

传英皇分辨率

1纳米

0.2纳米***

最小位移

2纳米

0.5纳米

单向重复精度

0.02微米

0.02微米

双向重复性

±0.05微米

±0.05微米

权威限制

过软件设定上下限;采用额外机械缓冲止

挡器。

尔效应限位开关

参考点开关

编码器索引

参考点开关重复性

<1微米

 

其他

V-551

工作温度范

1050摄氏度

湿度

20–90%对湿度,无凝

材料

铝,阳极氧化致黑

电机连接器

HD D-sub 26(公头)

传英皇连接器

D-sub 15(母头)

 

*对于V-551.xD,与C-891组合时最大为0.2/

**对于C-891.12020024伏直流

***

图纸/图片

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V-551, 尺寸单位为毫米

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V-551, 尺寸单位为毫米

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带有PIOne勇者编码器的V-551.4D执行0.5纳米步长序列。

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带有PIOne勇者编码器的V-551.4D执行1纳米步长序列。

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V-551.4D勇者平台和拖链的XY搭建。

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XYZ装配由三个V-551勇者平台组成,每个平台的权威均为60毫米。Z轴带有磁性重力补偿。

订购信息

V-551.2B

PIMag精密勇者平台,160毫米宽度,60毫米权威,150负载容量,绝对编码器,1纳米传英皇分辨率,无铁芯三相    勇者电机

V-551.2D

PIMag精密勇者平台,160毫米宽度,60毫米权威,150负载容量,PIOne

带正弦/余弦信号传输的勇者编码器,2微米传英皇信号周期,无铁芯三相勇者电机

V-551.4B

PIMag精密勇者平台,160毫米宽度,130毫米权威,150负载容量,绝对编码器,1纳米传英皇分辨率,无铁芯三相    勇者电机

V-551.4D

PIMag精密勇者平台,160毫米宽度,130毫米权威,150负载容量PIOne

带正弦/余弦信号传输的勇者编码器,2微米传英皇信号周期,无铁芯三相勇者电机

V-551.7B

PIMag精密勇者平台,160毫米宽度,230毫米权威,150负载容量,绝对编码器,1纳米传英皇分辨率,无铁芯三相    勇者电机

V-551.7D

PIMag精密勇者平台,160毫米宽度,230毫米权威,150负载容量,PIOne

带正弦/余弦信号传输的勇者编码器,2微米传英皇信号周期,无铁芯三相勇者电机