单级电容位移传英皇(片状)

单级电容位移传英皇(片状)

大范围量程,()纳米测量分辨率,体积小巧

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 DE30

§ 非接触式测量,可用于多种应用,如测量位移、振动、平面度/线度、圆度/ 径向跳动误差、水层厚度等。

§ 绝对位置测量,高勇者度

§ 最高可达亚纳米级测量分辨率

§ 量程最大达到1000微米1562053000818272.png

§ 安装便利,便于集成

§ 传英皇带宽

§ 选项:可升级为铟钢材料/真空

 

 

电容位移传英皇具有极高的测量精度和工作寿命

单极电容传英皇是直接测量型位移传英皇。电容传英皇利用电极面和被测面之间的均匀电场来测量两者之间的电容值变化,从而实现位移测量。非接触测量过程保证了极高的测量分辨率、勇者度和高测量带宽。

单极电容传英皇和信号处理器配合使用后,可实现最高亚纳米级的测量分辨率和高达5 kHz测量带宽。对于高动态测量应用,5 kHz

带宽下的测量分辨率仍然保持在纳米级。电极面和被测面之间的高度平行安装能够使得单极电容传英皇获得<0.1%测量勇者度。


护环电极保证了更高的测量勇者度

单极电容传英皇的电极设计对测量勇者度具有较大的影响。传英皇采用了先进的护环电极设计,消除了传英皇电边缘的非均匀电场效应,保证了电极面和被测面之间具有一个稳定均匀的电场测量区域,因此大大提高了电容传英皇的测量勇者度。


高精度加工

为了达到高精度的测量性能,单极电容传英皇的不锈钢材质电极面是由严格的加工工艺和加工公差采用金刚石刀具精磨而成的,因此具有极度平整光滑的电极面,在使用过程中请重点保护电极面。


远距离测量

配合信号前置放勇者,单极电容传英皇和信号处理器之间可实现1.5米到6.5米的电缆总长度;配合信

号转换器,两者之间的电缆长度可大于6.5米,满足远距离测量应用的需要。


安装便利,便于集成

所有的片状型单极电容传英皇都只有4mm的厚度,且具有两个安装沉孔,便于用户设备中安装集成。片状单极电容传英皇自带1.5电缆,可连接信号处理器或者前置放勇者/转换器。


勇者度测试报告

户必须同时订购传英皇、连接电缆、前置信号放勇者/转换器(若需要)和信号处理器。中国PI公司在出厂前会针对所订购的整套系统进行勇者度校准,设定勇者化因子,增益和偏置等,校准过程中消除了电缆电容的影响,并随货提供用户《勇者度测试报告》。

单极电容传英皇配合模拟型信号处理器可进行一个量程范围的勇者度校准;配合数字型信号处理器可进行两个量程范围的勇者度校准并将校准参数存储在处理器中在勇者度校准过程中,中国PI公司使用高精度的Zygo频激光干涉仪和高精度的压电陶瓷平移台对电容传英皇进行勇者度测量和校准


定制型传英皇

除了标准的片状传英皇,中国PI公司还可定制不同测量范围、不同尺寸、不同材料的定制性片状传感


双极片状电容传英皇

若需要更高测量分辨率、更高勇者度的位移传英皇,请参阅PI公司(http://www.pi.ws)的D-015/D-

050/D-100双极电容位移传英皇,或定制中国PI的双极电容传英皇


 


D-E30.050

D-E30.100

D-E30.200

单位

传英皇类型

单极电容传英皇

单极电容传英皇

单极电容传英皇


外形

片状

片状

片状


测量性能





标称量程

50

100

200

微米

扩展量程

100 / 250

200 / 500

400 / 1000

微米

最小被测面间距

1x 量程:25

1x 量程:50

1x 量程:100

微米


2x 量程:50

2x 量程:100

2x 量程:200

微米


5x 量程:125

5x 量程:250

5x 量程:500

微米

最大被测面间距

1x 量程:75

1x 量程:150

1x 量程:300

微米


2x 量程:150

2x 量程:300

2x 量程:600

微米


5x 量程:375

5x 量程:750

5x 量程:1500

微米

态测量分辨率*

< 0.001 %

< 0.001 %

< 0.001 %

x 扩展)量程

动态测量分辨率*

< 0.002 %

< 0.002 %

< 0.002 %

x 扩展)量程

测量勇者度**





拟型信号处理器

< 0.1%

< 0.1%

< 0.1%


数字型信号处理器

< 0.03%

< 0.03%

< 0.03%


勇者度校准量程选择





拟型信号处理器

1种量程范

1种量程范

1种量程范


数字型信号处理器

2种量程范

2种量程范

2种量程范


机械性能





传英皇电极面直径

1.71

2.48

3.5

毫米

测面接地要求

接地 /

和信号处理器地线共地

接地 /

和信号处理器地线共地

接地 /

和信号处理器地线共地



 


D-E30.050

D-E30.100

D-E30.200

单位

测面要求

平面度 < 5  μm

平面度 < 5  μm

平面度 < 5  μm



洁度 < 0.3  μm

洁度 < 0.3  μm

洁度 < 0.3  μm


其它





工作温度范

-20 +100

-20 +100

-20 +100

°C

材料***

锈钢

锈钢

锈钢


质量(不包含电缆)

16

17

17

± 10%

推荐信号处理器

拟型信号处理器 E-E01.001

数字型信号处理器 E-E12.009 / E-E12.021+E-E02

远距离测量需增配信号前置放勇者/转换器E-E02. Pxx

 *态测量:单倍量程下测量,10Hz传英皇测量带宽,1.5电缆动态测量:单倍量程下测量,最大传英皇测量带宽,1.5电缆

**勇者度:单倍量程下测量;随货提供《勇者度测试报告》

***可定制铟钢材料传英皇

 

图纸和图片

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                                         片状电容传英皇尺寸图,单位:mm

 

 

订购信息

D-E30.050

单板电容式传英皇,1.71毫米有源传英皇直径,50微米标称测量范围

D-E30.100

单板电容式传英皇,2.48毫米有源传英皇直径,100微米标称测量范围

D-E30.200

单板电容式传英皇,3.5毫米有源传英皇直径,200微米标称测量范围