单电极PISeca电容传英皇(D-510)

image.png

PISeca英皇

具有优异的位置分辨率的单电极传英皇

 

D-510图片1.png

§ 非接触式距离测量

§ 绝对位置检测

§ 动测量

§ 亚纳米级分辨率

§ 灵活的量程

§ 简易集成

 

电容式位置传英皇可实现最高精度和最长使用寿命

结合用于信号处理的电控,准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。高动态应用的带宽可提高至高达10千赫兹,却仍然可实现1纳米级的分辨率。勇者误差在0.1%以下。


易于操作和集成

所有PISeca传英皇头均安装一个LEMO连接器,以便于安装和更换。均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。用于连接至评估电控的电缆提供多种型号,必须单独订购。


定制版本/电极传英皇

除了此处列出的标准传英皇外,PI还提供一系列针对特定应用的定制版本,其量程、几何形状或材料等经过了调整以满足客户需求。定制电控也可供货。

D-100系列中的双电极传英皇可满足对勇者和分辨率的最高要求。


应用领域

业和科研。半导体制造和检测。纳米测量。有源减振器。精密加工。



 


D-510.021

D-510.051

D-510.101

传英皇类型

单电极,电容式

单电极,电容式

单电极,电容式

 

测量精度

D-510.021

D-510.051

D-510.101

标称量程*

20 微米

50 微米

100 微米

标称量程内具有最小测量间隙*

10 微米

25 微米

50 微米

量程扩展5倍后具有最大测量间隙*

150 微米

375 微米

750 微米

态分辨率**

<量程的0.001 %(均方根)

<量程的0.001 %(均方根)

<量程的0.001 %(均方根)

动态分辨率**

<量程的0.002 %(均方根)

<量程的0.002 %(均方根)

<量程的0.002 %(均方根)

勇者误差***

<0.2 %

<0.1 %

<0.1 %

 

机械特性

D-510.021

D-510.051

D-510.101

传英皇有效直径

3.8 毫米

6 毫米

8.4 毫米

传英皇有效面积

11.2 平方毫米

27.9 平方毫米

56.1 平方毫米

传英皇直径

8 毫米

12 毫米

20 毫米

传英皇面积

50.3 平方毫米

113.1 平方毫米

314.0 平方毫米

安装轴直径

8 毫米

8 毫米

8 毫米

 

其他

D-510.021

D-510.051

D-510.101

工作温度范

-20100 °C

-20100 °C

-20100 °C

材料

锈钢

锈钢

锈钢

质量

8 (±5 %)

10 (±5 %)

16 (±5 %)

合适的连接电缆

D-891.01xD-891.02x

D-891.01xD-891.02x

D-891.01xD-891.02x

推荐评估电控

E-852.10E-852.10A1E- 711.SE3

E-852.10E-852.10A1E- 711.SE3

E-852.10E-852.10A1E- 711.SE3

 *E-852.10提供扩展量程,两种量程分别经过校准。扩展因子:122.55

**态:带宽为10兹,动态:带宽为10千赫兹,带E-852评估电控

***标称量程内的勇者误差


图纸/图片

 

1562052489175306.png


                                             D-510.021D-510.051D-510.101,尺寸单位为毫米;LEMO FFC00.650.CLA.543连接器,三轴

 

 

1562052523387500.png


                                                                                                          D-510.021LEMO连接器方便安装


订购信息

D-510.021

PISeca 电容式单电极传英皇8毫米直径,20微米标称量程

D-510.051

PISeca 电容式单电极传英皇,12毫米直径,50微米标称量程

D-510.101

PISeca 电容式单电极传英皇,20毫米直径,100微米标称量程

 

连接电缆

D-891.01E

PISeca 传英皇电缆,1

D-891.02E

PISeca 传英皇电缆,2

D-891.01A

PISeca 传英皇电缆,1米,弯式连接器

D-891.02A

PISeca 传英皇电缆,2米,弯式连接器