极其准确的导向高精度达纳米定位平台(P-752)

高精度纳米定位平台


具有极其准确的导向的高动态稳定型压电陶瓷扫描器

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应用领域

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§ 扫描显微镜

§ 测量技术

§ 测试程序和质量保证

§ 光子

§ 纤定位

P-752

§ 分辨率0.1纳米

§ 快速响

§ 权威达35微米

§ 电容式传英皇带来最高勇者度

§ 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿


PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传英皇,实现亚纳米分辨率

电容式传英皇以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动勇者、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和勇者化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

直接位置量带来最大精度

动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异稳定性和刚性、快速响应控制。



 


P-752.11C

P-752.1CD

P-752.21C

P-752.2CD

单位

公差

动轴

X

X

X

X



动和定位







集成传英皇

电容式

电容式

电容式

电容式



-20+120时的开环权威

20

20

35

35

微米

+20 % / -

0 %

权威,闭环

15

15

30

30

微米


分辨率,开/闭环

0.1

0.1

0.2

0.2

纳米

典型

勇者误差,闭环

0.03

0.03

0.03

0.03

%

典型

 

重复精度

 

±1

 

±1

 

±2

 

±2

 

纳米

典型

,全权威

螺距/转角

±1

±1

±1

±1

微弧度

典型

机械特性







动方向上的刚性

30

30

20

20

/微米

±20 %

谐振频率,空载

3200

3200

2100

2100

±20 %

300 负载时的谐振频率

980

980

600

600

±20 %

动方向上的推/拉力

100 / 10

100 / 10

100 / 10

100 / 10

最大

负载容量

30

30

30

30

最大

驱动特性







陶瓷类型

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885



电容

2.1

2.1

3.7

3.7

微法

±20 %

其他







工作温度范

-20 80

-20 80

-20 80

-20 80

°C


材料



尺寸

66 毫米× 40 毫米

× 13.5 毫米

66 毫米× 40 毫米

× 13.5 毫米

84 毫米× 40 毫米

× 13.5 毫米

84 毫米× 40 毫米

× 13.5 毫米



质量

0.25

0.25

0.35

0.35

千克

±5 %

电缆长度

1.5

1.5

1.5

1.5

±10 毫米

传英皇/电压连接

LEMO

Sub-D

7W2(公头)

LEMO

Sub-D

7W2(公头)



 

推荐电控

E-505E-610E- 625E-665E-

754

E-505E-610E- 625E-665E-

754

E-505E-610E- 625E-665E-

754

E-505E-610E- 625E-665E-

754



PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放勇者噪声和测量技术的限制。所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。

询问定制版本。

图纸/图片

 

1561624776178702.png

                                                                                                              P-752.2.xx,尺寸单位为毫米

1561624824896170.png

                                                                                                   P-752.1.xx,尺寸单位为毫米

1561624860386927.png

                                              P-752.11C3纳米的振幅实现方波控制时的响应行为。亚纳米分辨率、稳定性和双向重复精度均清晰可见。                              控制器E-501.00E-503.00E-509.C1;伺服控制设置:240兹带宽。

 

 

订购信息

P-752.11C

动态压电陶瓷纳米定位系统,15微米,直接位置测量,电容传英皇,LEMO连接器

P-752.1CD

动态压电陶瓷纳米定位系统,15微米,直接位置测量,电容传英皇,Sub-D连接器

P-752.21C

动态压电陶瓷纳米定位系统,30微米,直接位置测量,电容传英皇,LEMO连接器

P-752.2CD

动态压电陶瓷纳米定位系统,30微米,直接位置测量,电容传英皇,Sub-D连接器